반도체 제조 장비용 다성분계 열용사 코팅물질, 그 제조방법 및 코팅방법

Title
반도체 제조 장비용 다성분계 열용사 코팅물질, 그 제조방법 및 코팅방법
Authors
김유찬백경호석현광
Issue Date
2009-06-03
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
반도체 제조 장비용 다성분계 열용사 코팅물질, 그 제조방법 및 코팅방법에서, 코팅 물질은 Al2(1-x)ZrxO3-x의 조성비를 가지며, 직경이 1 내지 100㎛ 크기의 분말로 형성될 수 있다. 여기서 "x"는 약 0.2 내지 약 0.8일 수 있다. 더욱 바람직하게 "x"는 약 0.2 내지 약 0.5일 수 있다. 상기 분말을 사용하여 열용사법에 의해 코팅한 코팅막은 비정질 또는 비정질과 ZrO2결정상 복합구조를 가진다. 본 발명에 의해 제공된 코팅막은 특히 염소기를 포함하는 플라즈마 에칭 환경에서 내식성이 매우 우수하며, 반응생성물 입자 형성이 방지된다.
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KIST Patent > 2009
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