은이 도핑된 나노선, 이를 포함하는 소자 및 그 제조 방법

Title
은이 도핑된 나노선, 이를 포함하는 소자 및 그 제조 방법
Authors
김경원송용원이상렬
Issue Date
2009-06-08
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
실시예들은 나노선, 이를 포함하는 소자 및 은이 도핑된 나노선의 제조 방법에 관한 것이다. 상기 나노선은 은이 도핑된 산화아연을 포함하여 이루어질 수 있다. 상기 소자는, 기판 및 기판상에 위치하며 은이 도핑된 산화아연을 포함하여 이루어진 나노선을 포함할 수 있다. 은이 도핑된 나노선의 제조 방법은, 기판, 및 은에 의해 도핑된 산화 아연을 포함하는 타겟 물질을 챔버 내에 서로 인접하여 위치시키는 단계; 상기 챔버를 가열하는 단계; 및 상기 타겟 물질에 레이저를 조사함으로써, 상기 타겟 물질을 상기 기판상에 나노선 형상으로 증착시키는 단계를 포함할 수 있다.
URI
Go to Link
Appears in Collections:
KIST Patent > 2009
Files in This Item:
There are no files associated with this item.
Export
RIS (EndNote)
XLS (Excel)
XML


qrcode

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.

BROWSE