금속산화물 나노입자를 이용한 가스센서 및 그 제조방법

Title
금속산화물 나노입자를 이용한 가스센서 및 그 제조방법
Authors
김동영김일두양성철이윤석장성연조성무홍재민
Issue Date
2009-04-30
Publisher
한국과학기술연구원; 주식회사 아모그린텍
Abstract
본 발명은, 전극이 형성된 센서기판 및 상기 전극이 형성된 센서기판 상에 금속산화물 나노입자가 분산된 용액을 분사하여 형성된 박층의 센서소재를 포함하는 가스센서 및 그의 제조방법에 관한 것이다.본 발명에 의한 가스센서는 센서소재가 미세한 나노입자들로 구성된 금속산화물 박층으로 형성되어, 매우 큰 금속산화물 비표면적을 가지며 다공성이므로, ppb 레벨의 높은 감도(Sensitivity)와 우수한 반응속도를 구현한다. 또한, 본 발명의 가스센서는 상온에서 제조하는 것이 가능하며, 분사 시간의 조절을 통해 센서소재의 두께를 쉽게 조절할 수 있어, 박막 또는 후막 가스센서로 제조하는 것이 용이하다. 금속산화물, 전기분사(Electrospray), 가스센서, 나노입자
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KIST Patent > 2009
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