이온주입에 의한 분리를 이용한 발광소자 제조 방법

Title
이온주입에 의한 분리를 이용한 발광소자 제조 방법
Authors
김선호변영태우덕하이석전영민
Issue Date
2009-03-09
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
이온주입에 의한 분리를 이용한 발광소자 제조 방법이 개시된다. 이 방법은 기판, 기판 상에 적층된 제1 도전형의 하부 반도체층, 활성층 및 제2 도전형의 상부 반도체층, 활성층 보다 낮은 낮은 영역에 형성된 분리층을 포함하는 적층 구조체를 형성하는 단계와, 열 공정으로 분리층의 상부와 하부를 분리시키는 단계를 포함한다. 이 방법에 의해 발광소자 제조 과정에서 크랙이 발생되는 것을 방지하고, 고효율, 저비용, 대면적의 발광소자를 단가 상승없이 제조할 수 있다.
URI
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Appears in Collections:
KIST Patent > 2009
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