강유전체 박막 및 산화물이 첨가된 강유전체 박막을 포함하는 적층 구조체 및 그 제조 방법

Title
강유전체 박막 및 산화물이 첨가된 강유전체 박막을 포함하는 적층 구조체 및 그 제조 방법
Authors
강종윤김진상윤석진조광환최지원
Issue Date
2009-03-18
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
기판 상에 번갈아 적층된 강유전체 박막 및 그 제조 방법이 개시된다. 강유전체 박막 및 산화물이 첨가된 강유전체 박막을 번갈아 적층하여 강유전성과 가변율을 감소시키지 않으면서 유전손실을 감소시킬 수 있다.
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KIST Patent > 2009
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