고체 원소 플라즈마 이온주입 방법 및 장치

Title
고체 원소 플라즈마 이온주입 방법 및 장치
Authors
김유찬변지영석현광이성배최진영한승희한준현
Issue Date
2009-01-14
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
고체 이온의 플라즈마 이온주입을 가능하게 하는 고체 원소 플라즈마 이온주입 방법 및 장치가 개시된다. 이 장치 및 방법에 따르면, 진공조 내의 시료 장착대 위에 시료를 위치시키고, 진공조의 내부를 진공상태로 유지한다. 그리고, 진공조 내에 플라즈마화 할 가스를 공급하고, 박막증착을 위한 증착원에 제1 전력을 인가하여 고체 원소의 플라즈마 이온들을 발생한다. 증착원으로부터 스퍼터링되는 고체 원소의 플라즈마 이온들은 시료의 표면에 이온주입된다. 여기서 제1 전력은, 낮은 평균 전력을 유지하면서도 펄스가 인가되는 순간 높은 전력을 인가할 수 있는 펄스 직류 전력이다. 또한, 제1 전력을 인가함과 동시에, 시료 장착대에 제2 전력을 제공할 수 있는데, 제2 전력은 고체 원소의 플라즈마 이온들을 시료 측으로 가속시키며 펄스 직류 전력에 동기화된 고전압 펄스이다. 또한, 진공조 내에 유도결합 플라즈마를 발생하여, 고체 원소의 이온화율을 증가시키고 증착원의 작동 압력을 낮출 수 있다.
URI
Go to Link
Appears in Collections:
KIST Patent > 2009
Files in This Item:
There are no files associated with this item.
Export
RIS (EndNote)
XLS (Excel)
XML


qrcode

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.

BROWSE