가스센서 및 그 제조방법

Title
가스센서 및 그 제조방법
Authors
김일두윤석진
Issue Date
2009-01-20
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 가스센서 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 촉매가 함유된 다공성 구조의 금속산화물 박층을 감지소재로 이용한 가스센서 및 그 제조방법에 관한 것이다. 이를 위해, 본 발명은 센서 기판 위에 희생입자가 균일하게 분산된 희생입자층을 형성하는 단계; 상기 희생입자층 위에 스퍼터링 방법을 이용하여 촉매가 포함된 금속산화물 감지층을 형성하는 단계; 및 상기 촉매가 포함된 금속산화물 감지층을 열처리하여 상기 희생입자층을 제거하여 촉매가 포함된 다공성 금속산화물 감지층을 얻는 단계; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스센서의 제조방법을 제공한다.
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KIST Patent > 2009
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