고분자 바인더를 이용한 강유전성 PVDF 박막의 패턴 어레이 형성방법

Title
고분자 바인더를 이용한 강유전성 PVDF 박막의 패턴 어레이 형성방법
Authors
구종민홍순만황승상
Issue Date
2008-10-28
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 고분자 바인더를 이용하여 강유전성 PVDF(polyvinylidene fluoride) 박막의 패턴 어레이(pattern array)를 형성하는 방법에 관한 것으로, 구체적으로 1) PVDF 고분자, 및 이와 상용성이 우수하면서 UV 경화가 가능한 고분자 바인더를 용매에 용해시킨 후 그 혼합물을 기판 위에 코팅하여 PVDF 박막을 형성하는 단계; 및 2) 상기 코팅된 박막 위에 패턴화된 마스크를 통해 UV를 조사하여 조사된 부분에서만 UV 경화를 유도한 후, UV가 조사되지 않아 경화되지 않은 부분은 용매를 이용하여 제거하여 패턴 어레이를 형성하는 단계를 포함하는, 고분자 바인더를 이용하여 강유전성 PVDF 박막의 패턴 어레이를 형성하는 방법에 관한 것이다.
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KIST Patent > 2008
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