다층박막의 탄성계수 측정 방법

Title
다층박막의 탄성계수 측정 방법
Authors
문명운지광구한승희한준현
Issue Date
2008-10-31
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 다층박막의 탄성계수를 측정하는 방법에 관한 것으로, 기판 (예컨대, 점탄성을 띠는 폴리머) 위에 다층박막을 입힌 후 박막에 압축응력을 가해 주름을 만들고, 이 주름의 간격을 측정함으로써 다층박막의 겉보기 탄성계수는 물론 다층박막을 이루는 각 층의 개별적인 탄성계수 측정이 가능하다. 이 방법은 반도체 분야 및 N/MEMS 분야 그리고 바이오칩 등의 분야에 응용되는 소자들의 신뢰도 및 안정성 평가에 이용될 수 있으며, 특히 플렉서블 일렉트로닉스 분야에서 사용되는 플렉서블 구리 클래드 복합층 (Cu/Ti-layer/Polymer)의 신뢰성과 수명 예측에 이용될 수 있다.
URI
Go to Link
Appears in Collections:
KIST Patent > 2008
Files in This Item:
There are no files associated with this item.
Export
RIS (EndNote)
XLS (Excel)
XML


qrcode

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.

BROWSE