캔틸레버 센서 및 그 제조방법 그리고 이를 이용한 생체물질 감지장치 및 그 제조방법

Title
캔틸레버 센서 및 그 제조방법 그리고 이를 이용한 생체물질 감지장치 및 그 제조방법
Authors
김상경김태송조원우황교선
Issue Date
2008-11-11
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 캔틸레버에 흡착된 생체물질을 정확히 정량적으로 분석할 수 있는 캔틸레버 센서 및 그 제조방법 그리고 이를 이용한 생체물질 감지장치 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 생체물질 감지장치는 일정 거리 이격되어 배치되는 캔틸레버 센서와 기준 전극체의 조합으로 이루어지며, 상기 캔틸레버 센서는 전단부와 후단부로 구분되며, 상기 기준 전극체와 대향되는 캔틸레버 센서의 전단부에는 하부전극, 절연막 및 상부전극이 순차적으로 적층된 정전용량 측정용 전극체가 구비되고, 상기 캔틸레버 센서의 후단부는 하부전극, 압전막 및 상부전극이 순차적으로 적층된 구조를 구비되며, 상기 기준 전극체는 기준 하부전극, 절연막 및 기준 상부전극이 순차적으로 적층된 구조를 포함하여 이루어지며, 상기 정전용량 측정용 전극체의 상부전극은 상기 압전막과 전기적으로 단선된 것을 특징으로 한다.
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KIST Patent > 2008
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