자기증폭형 초감도 센서

Title
자기증폭형 초감도 센서
Authors
강지윤김태송신경식이경훈
Issue Date
2008-09-25
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 나노선을 이용한 자기증폭형 초감도 센서에 관한 것으로서, 중심으로부터 3개의 채널로 분기되는 나노선과, 나노선 중에서 마주하는 어느 두 개의 채널에 연결되어 전류가 흐르는 소오스 및 드레인과, 나노선의 다른 하나의 채널에 연결되어 인가되는 전압에 의하여 에너지밴드의 중간 부분에서 휨 현상이 발생하고, 휨으로 인하여 내부 전계의 변화를 유발하는 센싱게이트를 포함하여 제조되는 것을 특징으로 한다. 따라서 본 발명에 의하면 나노선의 모양에 따른 에너지밴드의 휨현상과 전계효과형 센서의 구조를 이용함으로써, 센서의 신호를 소자 내부에서 자체 증폭하여 고감도/고출력을 낼 수 있으며, 특히, 나노선의 전기적 특성이 향상되어, 소량의 목표 물질만으로도 매우 민감하게 검출하고자 하는 목표 물질을 검출할 수 있게 되었다. 또한, 나노선어레이를 형성한 후에 선택적으로 표면처리를 진행하여, 여러 가지 물질을 동시에 검출할 수 있는 센서 어레이로서 응용될 수 있다. 이러한 바이오센서는 암진단, 혈당측정, 유해 바이러스 검지, 환경 유해 물질 검지 등에 유용하게 사용될 수 있는 효과가 있다.
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KIST Patent > 2008
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