전자 사이크로트론 공명 플라즈마 화학증착법에 의해 제조된 투명도전 아연주석복합산화박막 및 이의 제조방법과 이의 투명발열체

Title
전자 사이크로트론 공명 플라즈마 화학증착법에 의해 제조된 투명도전 아연주석복합산화박막 및 이의 제조방법과 이의 투명발열체
Authors
박지훈우주만이중기장원영조병원
Issue Date
2009-07-08
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 전자 사이크로트론 공명(Electro Cyclotron Resonance, ECR) 유기화학 증착법에 의하여, 광투과율이 우수하고, 계면과의 접착력 및 전도도가 우수한 투명도전 아연주석복합산화박막 ZnxSnyOz의 제조방법에 관한 것이다.본 발명에 따른 제조방법에 의해 안정된 아연주석복합산화박막에서 물리적증착법에서 얻어질 수 있는 ZnSnO3, Zn2SnO4 보다 전자사이크로트론 화학증착법에서 훨씬 전기적 전도도가 우수한 아연주석복합산화박막의 화합물을 합성할 수 있어, 투명발열체를 비롯한 각종 전기 제품의 소자로 광범위하게 응용될 수 있을 것으로 기대된다.
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KIST Patent > 2009
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