고온 산화 분위기에서 다이아몬드층과 금속 전극층의 밀착력이 향상된 소자

Title
고온 산화 분위기에서 다이아몬드층과 금속 전극층의 밀착력이 향상된 소자
Authors
박종극백영준이욱성정증현황규원
Issue Date
2008-10-17
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 다이아몬드와 금속의 밀착력 향상에 관한 것으로 보다 구체적으로는 고온, 산화 분위기에서 버퍼층의 소재 및 구조를 디자인하여 다이아몬드와 금속의 접합력을 유지하는 방법에 관한 것이다. 구체적으로 본 발명은 다이아몬드층, 금속 전극층, 및 다이아몬드층과 금속 전극층 사이에 위치하는 버퍼층을 포함하는 소자에 있어서, 상기 버퍼층이 (i) 금속 질화물층(Me-N) 및 (ii) 실리콘 질화물층(Si-N), 금속-실리콘-질화물층(Me-Si-N), 보론 질화물층(B-N) 및 금속-보론 질화물층(Me-B-N)으로 이루어진 군으로부터 선택되는 층을 나노두께로 반복적층한 층을 포함하는 것을 특징으로 하는 소자를 제공한다.
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KIST Patent > 2008
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