단일칩 기반의 멀티 가스 검출 시스템 및 방법

Title
단일칩 기반의 멀티 가스 검출 시스템 및 방법
Authors
김부균김선호변영태위재경이석이성수임지훈하종찬
Issue Date
2008-08-28
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 단일칩 기반의 멀티 가스 검출 시스템 및 방법에 관한 것으로서, 여러종류의 가스를 센서 어레이에 기반한 하나의 칩으로 검출할 수 있도록 단일 실리콘 기판에 일괄 공정으로 센서칩과 검출회로를 구현함으로써, 기존 방식의 단점인 긴 신호연결선의 저항 및 커패시턴스를 최소화하여 작은 감지신호도 용이하게 검출할 수 있다. 또한, 본 발명의 다른 목적은 온도 검출 및 보상을 간단한 시리얼 입출력 인터페이스로 조정하여 센서 검출 데이터의 온도 정보를 보상함으로써, 센서 데이터의 신뢰도를 향상시킬 수 있도록 하는데 있다. 이를 위해, 본 발명은 여러 종류의 가스를 감지하기 위해 필요한 복수의 가스센서들로 각각 구성된 복수의 센서 어레이; 상기 센서 어레이를 통해 미세 전압/전류를 검출하기 위한 멀티센서검출부; 상기 센서 어레이와 멀티센서검출부를 제어하고, 디지털 제어 및 사용자의 편의를 위한 입출력 인터페이스가 내장된 디지털 제어부를 포함하며, 상기 멀티센서검출부 및 디지털 제어부를 포함하는 검출칩 위에 상기 가스센서가 일괄공정으로 장착되는 것을 특징으로 하는 가스검출시스템을 제공한다.
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KIST Patent > 2008
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