육불화황 분리막 모듈 및 이를 이용한 육불화황 회수장치

Title
육불화황 분리막 모듈 및 이를 이용한 육불화황 회수장치
Authors
이상협이화영박찬혁박희수조진우이중기
Issue Date
2008-07-29
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 SF6의 회수율을 향상시킴과 함께 SF6 회수를 위한 추가 공정이 요구되지 않는 SF6 분리막 모듈 및 이를 이용한 SF6 회수장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 SF6 회수장치는 SF6을 포함하는 혼합기체를 저장하는 혼합기체 공급탱크와, 상기 혼합기체 공급탱크로부터 혼합기체를 공급받아 혼합기체 내의 SF6 농도를 일정하게 유지하는 혼합기체 안정화탱크와, 상기 혼합기체 안정화탱크로부터 공급되는 혼합기체를 SF6와 여타기체로 분리하는 SF6 분리막 모듈 및 상기 SF6 분리막 모듈의 장착 공간을 제공함과 함께 상기 SF6 분리막 모듈의 온도를 일정하게 유지시키는 역할을 하는 항온유지장치를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
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KIST Patent > 2008
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