투명 도전막 형성 방법

Title
투명 도전막 형성 방법
Authors
김창삼박상환윤동훈임경란
Issue Date
2008-08-07
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
유리 기판의 변형을 일으키지 않고 유리 기판과 투명 도전막의 접착력을 향상시킬 수 있는 투명 도전막 형성 방법이 개시된다. 제2 투명 도전체 졸 보다 상대적으로 낮은 온도에서 결정화가 이루어지나 접착력이 약한 제1 투명 도전체 졸을 투명 기판 상에 코팅한다. 제1 투명 도전체 졸이 코팅된 투명 기판을 열처리하여 유기물을 제거하고 1차 투명 도전막을 형성한다. 제1 투명 도전체 졸 보다 접착력이 세고 상대적으로 높은 온도에서 결정화가 이루어지는 제2 투명 도전체 졸을 1차 투명 도전막 내에 스며들게 하여 제1 투명 도전막과 제2 투명 도전체의 혼합층을 형성한다. 1차 투명 도전막과 제2 투명 도전체를 열처리하여 다결정의 투명 도전막을 형성한다.
URI
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Appears in Collections:
KIST Patent > 2008
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