촉매를 포함하는 금속산화물 가스센서 및 이의 제조방법

Title
촉매를 포함하는 금속산화물 가스센서 및 이의 제조방법
Authors
김일두김태균김병규
Issue Date
2008-07-16
Publisher
한국과학기술연구원; 김병규
Abstract
본 발명은 금속촉매 및 금속산화물을 포함하는 가스센서 및 이의 제조방법에 한 것으로서, 본 발명은 센서전극 위에 금속촉매전구체, 금속산화물전구체, 고분자 및 용매를 포함하는 용액을 방사하여 복합섬유를 형성하는 단계; 상기 나노파이버를 열 압착 또는 열 가압하여 센서기판 상에 압착하는 단계; 상기 기판 상에 압착된 복합섬유를 열처리하여 상기 복합섬유로부터 상기 고분자를 제거하는 단계를 포함하여, 금속촉매가 균일하게 포함된 금속산화물의 다공성 박층을 얻는 것을 특징으로 하는 가스센서의 제조방법 및 그로부터 제조된 가스센서를 제공한다. 본 발명에 의한 가스센서는 나노입자를 포함하여 이루어진 납작한 벨트(belt) 형태의 금속산화물 나노파이버의 네트워크 구조 표면에 나노미터 크기의 금속촉매가 균일하게 분포되어 있어서, 안정하고 감도(Sensitivity)와 선택성(Selectivity)이 높은 초고감도 센서를 구현할 수 있다.
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KIST Patent > 2008
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