다이아몬드 단결정 성장 방법

Title
다이아몬드 단결정 성장 방법
Authors
박종극백영준이욱성
Issue Date
2008-05-29
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 다이아몬드 단결정 성장 방법에 관한 것으로서, 다이아몬드의 기상성장 중 성장하는 단결정의 온도상승과 단결정들 간의 온도를 일정하게 유지시키기 위한 다음의 방법을 제공하여 다이아몬드 단결정을 대량으로 용이하게 성장시킬 수 있게 한다. 다이아몬드 씨드의 결정 형상에 상응하는 음각 패턴을 갖는 피트가 하나 이상 형성되어 있으며 열전도도가 1 W/cmK 이상인 몰드 기판을 제공하는 단계 및 다이아몬드 씨드를 상기 몰드 기판의 피트 내에 위치시킨 후 상기 피트 내에서 기상화학증착법에 의해 다이아몬드 단결정으로 성장시키는 단계를 포함하는 다이아몬드 단결정 성장 방법을 제공한다.
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KIST Patent > 2008
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