압전 무밸브 마이크로 펌프

Title
압전 무밸브 마이크로 펌프
Authors
김상종김현재윤석진최지원
Issue Date
2008-06-05
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 압전 무밸브 마이크로 펌프로써 그 상판의 내부에 형성된 챔버(10) 상부의 유체유입부측 압전 액츄에이터(24(a))의 팽창시에는 상기 챔버(10)의 유체유입부(12)에서 유체토출부(14)보다 많은 양의 유체가 유체 유입로(16)를 통해 상기 챔버(10)로 흡입되고, 유체토출부측 압전 액츄에이터(24(b))의 수축시에는 유체유입부(12)측보다 유체토출부(14)측으로 많은 유체를 송출함으로서 유체를 일정한 방향으로 토출하며, 다이아프램(20)은 상기 챔버(10) 상부에 위치되는 하부 전극(22)과, 상기 하부 전극(22)의 상부에 일정 간격을 두고 위치하는 한 쌍의 압전 액츄에이터(24) 및 상기 각 압전 액츄에이터(24)의 상부에 위치된 상부 전극(26)으로 구성하되, 유체가 유입되는 유체 유입로(16)측의 압전 액츄에이터(24(a))는 양(또는 음)의 전계를 인가하여 분극하고, 유체가 토출되는 유체 토출로(18)측의 압전 액츄에이터(24(b))는 음(또는 양)의 전계를 인가하여 분극함으로서 한 쌍의 압전 액츄에이터(24)는 서로 다르게 구동된다. 본 발명에 의하면, 단일 챔버에 서로 다른 방향으로 작동하는 한 쌍의 압전 액츄에이터에 의하여 입력 및 출력단에서의 유체의 흐름이 종래의 단일 압전 액츄에이터를 가지는 마이크로 펌프에 비해 원활하며, 역류를 줄일 수 있는 장점을 지니고 있어 우수한 특성의 마이크로 펌프를 제공할 수 있는 효과를 가진다.
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KIST Patent > 2008
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