복합 유전체 박막과, 이를 이용한 커패시터 및 전계 효과트랜지스터와, 이들 각각의 제조 방법

Title
복합 유전체 박막과, 이를 이용한 커패시터 및 전계 효과트랜지스터와, 이들 각각의 제조 방법
Authors
김일두김호기조남규
Issue Date
2008-07-02
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 상온에서 증착되면서도 높은 유전상수와 낮은 누설 전류 특성 및 높은 절연 파괴 전압을 동시에 가질 수 있는 복합 유전체 박막과, 이를 이용한 커패시터 및 전계 효과 트랜지스터와, 이들 각각의 제조 방법에 관한 것으로서, 본 발명은 5 ℃ 내지 200 ℃의 상온에서 증착되며, 비정질 유전체 매트릭스 내에 결정질 절연성 충진제가 균일하게 분포되어 있거나, 부분적으로 나노결정질이 포함되어 있는 유전체 매트릭스 내에 비정질의 절연성 충진제가 균일하게 분포되어 있는 것을 특징으로 하는 복합 유전체 박막을 제공한다. 이러한 복합 유전체 박막은 커패시터의 유전체 층과, 전계 효과 트랜지스터의 게이트 절연막으로 응용될 수 있다.
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KIST Patent > 2008
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