산화아연계 투명도전성 박막 및 그 제조방법

Title
산화아연계 투명도전성 박막 및 그 제조방법
Authors
김원목이경석이택성정병기
Issue Date
2008-04-24
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 자유전하 농도가 낮아도 결정립계 산란에 의한 자유전하 이동도 저하 현상을 개선할 수 있으며, 적정한 자유전하 농도에서도 높은 자유전하 이동도가 유지될 수 있는 산화아연계 투명도전성 박막 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 산화아연계 투명도전성 박막은 산화아연에 할로겐족 음이온성 원소와 수소가 도핑되거나 산화아연에 할로겐족 음이온성 원소, 수소 및 3족 양이온성 금속원소가 도핑된 것을 특징으로 하며, 산화아연에 할로겐족 음이온성 원소와 수소가 도핑된 경우, 자유전하 농도가 낮더라도 결정립계 산란에 의한 자유전하 이동도 저하 현상이 최소화되며, 산화아연에 할로겐족 음이온성 원소, 수소 및 3족 양이온성 금속원소를 도핑한 경우, 적정의 자유전하 농도가 담보됨과 함께 높은 자유전하 이동도가 유지된다.
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KIST Patent > 2008
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