바이오 센서 소자 및 제조 방법

Title
바이오 센서 소자 및 제조 방법
Authors
박종극백영준이욱성정증현황규원
Issue Date
2008-03-03
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 바이오 센서 소자 및 제조 방법에 관한 것이다. 즉, 본 발명은 FET 바이오센서 소자의 게이트를 생체 적합성이 탁월한 다이아몬드 박막을 사용하여 제조함으로써 센서의 수명, 반복성 및 안정성을 크게 개선시킴과 동시에, 채널 영역에 다이아몬드를 도입했던 기존의 다이아몬드 기반의 바이오 센서(Bio-sensor)와 달리 다이아몬드를 채널 영역에서 배제한 FET(Field Effect Transistor)구조를 구현하여 센서의 민감도 개선과 더불어, 실리콘(Si) 전자회로와 동시 집적이 가능하도록 한다.
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Appears in Collections:
KIST Patent > 2008
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