다결정 금속산화물 반도체층을 이용한 전계효과트랜지스터와 그 제조방법

Title
다결정 금속산화물 반도체층을 이용한 전계효과트랜지스터와 그 제조방법
Authors
김일두최승훈홍재민
Issue Date
2008-03-14
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 다결정 금속산화물 반도체층을 이용한 전계효과 트랜지스터와 그 제조방법에 관한 것으로서, 고분자와 금속염 전구체를 포함하는 혼합 용액을 방사하여 생성한 개별 복합 나노선(나노섬유) 또는 복합 나노선 네트워크를 열압착하거나 열가압한 뒤 고분자 제거 및 금속염의 산화를 위한 열처리를 실시하여 나노벨트 구조 또는 나노벨트 네트워크(매트) 구조의 금속산화물 박층을 형성하고 이 나노벨트 구조 또는 나노벨트 네트워크 구조의 금속산화물 박층을 활성층(active channel, 반도체층)으로 이용할 수 있도록 구성됨으로써, 전기적 안정성이 우수하고, 활성층의 비표면적이 크게 증대되어 반응성이 뛰어난 전계효과 트랜지스터와 그 제조방법에 관한 것이다.
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KIST Patent > 2008
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