수중환경에서의 DLC박막의 내마모성 및 계면 접합력을증가시키는 박막 증착 기술

Title
수중환경에서의 DLC박막의 내마모성 및 계면 접합력을증가시키는 박막 증착 기술
Authors
문명운박세준이광렬이진우
Issue Date
2007-12-26
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 수중 환경에서의 다이아몬드상 카본(Diamond-like carbon) 박막의 마찰 거동 및 마모 현상에 관한 것으로, 본 발명에 따른 다이아몬드상 카본 박막 형성 방법은, 플라즈마 보조 화학기상증착법(Plasma Assisted Chemical Vapour Deposition)을 이용한 것으로, 벤젠가스에 수소가스로 혼합하여 전구체 가스(precursor gas)로 사용하는 것을 특징으로 한다. 다이아몬드상 카본, 수소 희석, 다공율(Porosity), 마모(Wear), 수중환경(Aqueous environment)
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Appears in Collections:
KIST Patent > 2007
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