프로브 구조물 및 그 제조방법

Title
프로브 구조물 및 그 제조방법
Authors
문성욱이승훈추성일
Issue Date
2008-01-02
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 미세 피치의 웨이퍼 및 대면적의 웨이퍼를 효과적으로 테스트할 수 있으며, 제작 공정의 단순화 및 프로브의 재생을 용이하게 구현할 수 있는 프로브 구조물 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 프로브 구조물 제조방법은 프로브 구조물을 복수의 단위 프로브 패턴으로 구분하고, 각각의 단위 프로브 패턴을 단위 공정을 적용하여 형성하는 것을 특징으로 하며, 상기 단위 공정은, 단위 프로브 패턴 마스크를 형성하는 제 1 과정과, 상기 단위 프로브 패턴 마스크에 의해 노출된 영역 상에 단위 프로브 패턴을 형성하는 제 2 과정과, 상기 단위 프로브 패턴 마스크를 제거하는 제 3 과정과, 상기 단위 프로브 패턴을 포함한 전면 상에 금속 물질의 희생층을 형성하는 제 4 과정과, 상기 단위 프로브 패턴의 상부면이 노출되도록 상기 단위 프로브 패턴 및 희생층을 평탄화하는 제 5 과정을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
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KIST Patent > 2008
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