플라즈마 표면 처리를 이용한 투명 기체 차단 필름의 제조방법 및 이로부터 제조된 투명 기체 차단 필름

Title
플라즈마 표면 처리를 이용한 투명 기체 차단 필름의 제조방법 및 이로부터 제조된 투명 기체 차단 필름
Authors
곽순종전재호
Issue Date
2008-12-30
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 플라즈마 표면 처리를 이용한 투명 기체 차단 필름의 제조방법 및 이로부터 제조된 투명 기체 차단 필름에 관한 것으로, 구체적으로 a) 투명 플라스틱 필름의 표면에 유/무기 하이브리드 용액을 코팅하여 유/무기 하이브리드층을 형성하는 단계; 및 b) 상기에서 투명 플라스틱 필름 상에 형성된 유/무기 하이브리드층의 표면을 반응성 기체의 플라즈마로 처리하여 경사 조성형 계면구조를 갖는 무기층을 형성하는 단계를 포함하는 투명 기체 차단 필름의 제조방법, 및 상기 방법에 의해 제조된 유/무기 하이브리드층과 무기층 사이에 경사 조성형 계면구조를 갖는 투명 기체 차단 필름에 관한 것이다. 본 발명의 제조방법은 고진공 하에서의 증착공정을 사용하지 않고 플라즈마 표면 처리를 통해 기체 차단 박막을 형성하기 때문에 기체 차단 효과가 우수한 투명 기체 차단 필름을 간단한 공정에 의해 경제적으로 대량 생산할 수 있다. 또한 본 발명의 방법에 따라 제조된 투명 기체 차단 필름은 경사 조성형 계면구조로 인해 유/무기 하이브리드층과 무기층 사이의 계면에서 크랙(crack) 및 층간 박리현상이 유발되지 않으면서 기체 차단 효과가 탁월하여 각종 디스플레이 패널용으로 유용하게 사용될 수 있다.
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KIST Patent > 2008
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