병렬 다중 채널 방식의 실리콘 마이크로플루이딕 칩 및상기 칩을 이용한 마이크로/나노 에너지 시스템

Title
병렬 다중 채널 방식의 실리콘 마이크로플루이딕 칩 및상기 칩을 이용한 마이크로/나노 에너지 시스템
Authors
전명석
Issue Date
2007-10-30
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 표면 하전성이 우수한 실리콘 재질의 마이크로플루이딕 칩 (microfluidic-chip) 및 상기 칩을 이용한 마이크로/나노 에너지 시스템에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 하나의 원판형 칩 위에 원점을 중심으로 일정 간격으로 정렬된 방사상의 병렬 다중 채널(multi-channel)을 형성하고, 상기 원판형 칩을 적층하여 단위 흐름전위 셀(streaming potential cell)을 구성한 후 상기 셀을 직렬로 다수 연결하여 에너지 시스템을 구성함으로써, 칩의 크기를 극소형화 할 수 있고, 유체의 균등한 유입 및 유출 효과를 얻을 수 있으며, 상기와 같은 셀 간의 직렬 연결을 통하여 증폭된 전기에너지를 얻을 수 있는 병렬 다중 채널 방식의 실리콘 마이크로플루이딕 칩을 이용한 마이크로/나노 에너지 시스템에 관한 것이다. 이를 위해, 다수의 흐름전위 셀을 직렬로 연결하여 구성되는 에너지 시스템에 있어서, 상기 흐름전위 셀은, 수직으로 적층되는 복수 개의 다중 미세채널 형상을 갖는 실리콘 재질의 원판형 마이크로플루이딕 칩; 상기 적층된 칩을 포함하도록 구성되며, 상기 마이크로플루이딕 칩에 유체를 흐르도록 하여 전기에너지를 발생시키는 용기; 를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다. 흐름전위(streaming potential), 마이크로플루이딕 칩(microfluidic-chip), 실리콘 칩(silicon chip), 다중 미세채널(multi-microchannel), MEMS, 마이크로 에너지(micro energy), 전력밀도(power density).
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KIST Patent > 2007
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