상온에서 자성을 보이는 전도성 질화물 및 그 제조방법

Title
상온에서 자성을 보이는 전도성 질화물 및 그 제조방법
Authors
김달영안효신이광렬이승철
Issue Date
2006-12-15
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명에 따라 전이금속 질화물 중 전도성 질화물인 TiN, TaN, NbN, ZrN 등에 전이금속을 불순물로 첨가하면 상온에서도 자기적 성질을 나타낸다. 본 발명에 의해 만들어진 물질의 응용분야로는 비자성 또는 자성 반도체에 특정한 스핀 방향을 가진 전자를 주입하는 스핀주입물질로 사용할 수 있으며 자기적 특성이 연자성임을 이용해 자기 스위칭이 가능한 소자를 제조할 수 있다. TiN과 같은 전도성 질화물은 기존 반도체 산업에서 광범위하게 사용되는 확립된 기술이기 때문에 기존의 장비를 전이금속이 도핑되도록 개조하면 용이하게 자성을 띤 전도성 질화물 박막을 제조할 수 있다.
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KIST Patent > 2006
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