폴리머 모재 상의 금속박막 증착방법

Title
폴리머 모재 상의 금속박막 증착방법
Authors
송종한최원국
Issue Date
2006-04-13
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 폴리머 모재 상의 금속박막 증착방법에 관한 것으로서, 금속박막을 증착하기 이전에 수 ~ 수백 keV의 에너지를 갖는 고 선속 금속이온 조사(high flux metal ion irradiation)를 통한 폴리머 모재의 표면 세정(surface cleaning), 이온빔의 에너지 전달에 의한 상기 모재의 표면 개질(surface modification), 금속이온주입에 의한 계면 원자간 친화력 활성층 형성 등의 효과와 연속 일괄 증착공정을 통해 금속박막을 형성함으로써, 증착된 금속박막간의 계면 접착력(interface adhesion)의 향상은 물론, 별도의 화학세정 전처리 공정을 수행하지 않아도 되므로 공정 단순화를 도모할 수 있는 폴리머 모재 상의 금속박막 증착방법에 관한 것이다.
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Appears in Collections:
KIST Patent > 2006
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