내장형 커패시터 및 그 제조 방법

Title
내장형 커패시터 및 그 제조 방법
Authors
강경태김일두홍재민
Issue Date
2006-02-24
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 커패시터의 유전체막으로 비정질 BST에 억셉터를 도핑하여 사용함으로써 저유전손실, 저누설전류, 고절연파괴전압 등의 우수한 유전 특성을 갖는 내장형 커패시터(embedded capacitor)에 관한 것이다. 본 발명에 따른 내장형 커패시터는 소정의 기판 상에 형성된 제 1 전극; 상기 제 1 전극 상에 형성되며 억셉터(acceptor)가 도핑된 비정질 (Ba1-xSrx)TiO3(BST)막 - 여기서, x=0.3~1 - 및 상기 비정질 BST막 상에 형성된 제 2 전극을 포함한다.내장형 캐패시터, PCB(printed circuit board), 억셉터(acceptor), 억셉터 레벨, BST, 유전체막, PZT, 스퍼터링(sputtering), PLD(Pulsed laser deposition)
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Appears in Collections:
KIST Patent > 2006
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