싸이클 조업에 의한 고분자 표면상의 금속막 형성 방법

Abstract

본 발명은 플라스틱 등의 고분자 표면에 금속막을 형성하는 방법 및 그 장치에 관한 것으로서, 계면결합력이 우수한 전자 싸이크로트론 공명 화학증착법과 증착률이 뛰어난 물리증착법을 결합하여 싸이클 조업에 의한 복합 증착 방법을 제시한다. 이러한 방법에 의하면 계면결합력은 물론이고 생산 속도도 매우 증가된 도전성 금속 복합박막을 얻을 수 있다. 본 발명에 따르면 적절한 싸이클 시간과 스플릿(화학증착과 물리적증착시간비)을 조절하여 최적의 조건을 도출함으로써 형성된 박막의 접착성과 전도성은 물론이고 제조생산성을 크게 향상시킬 수 있다. 본 발명에 따른 방법은 차세대형 구리박(FCCL) 또는 플라스틱 태양전지, 액정 구동을 위한 필터, 비디오 레코딩 테이프, 전자 소자재료, 패키징, 전자기파차폐 등의 여러 분야에 응용이 가능하다.