실리콘 나노 입자를 포함하는 다층 구조의 실리콘화합물박막 및 그 제조방법

Title
실리콘 나노 입자를 포함하는 다층 구조의 실리콘화합물박막 및 그 제조방법
Authors
박용주이태경
Issue Date
2004-05-06
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 실리콘 나노 입자를 포함하는 다층 구조의 실리콘화합물 박막에 관한 것으로, 실리콘 화합물 다층구조를 성장한 후, 후열처리 공정을 통하여 나노구조 크기의 실리콘 구조를 형성한다. 또한, 실리콘과 결합되는 이종원소의 몰분율이나 후열처리 온도를 변화시켜 청색부터 적색에 이르는 가시광영역의 발광특성을 제어할 수 있다.
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Appears in Collections:
KIST Patent > 2004
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