이중 광반사 구조물 및 그 이중 광반사 구조물의 제조방법

Title
이중 광반사 구조물 및 그 이중 광반사 구조물의 제조방법
Authors
강현재권상주박종오이진우주병권채수경
Issue Date
2004-04-12
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 이중 광반사 구조물, 상기 이중 광반사 구조물의 제조 방법 및 상기 이중 광반사 구조물을 이용한 미세 세포 관찰 장치에 관한 것으로, 특히, 엑스레이를 광반사용 기판에 조사(irradiate)하여 경사 식각하는 방법으로 제조된 이중 광반사 구조물, 그 제조 방법 및 상기 이중 광반사 구조물을 이용하여 세포의 배면 영상 및 측면 영상을 얻을 수 있는 미세 세포 관찰 장치에 관한 것이다. 하나의 광반사용 기판에 엑스레이를 비스듬하게 조사하여 식각함으로써, 완전히 평행한 광반사면을 갖는 이중 광반사 구조물로 구현할 수 있으며, 상기 이중 광반사 구조물을 미세 세포 관찰 장치에 이용함으로써, 세포 조작시 조작 대상 세포를 입체적으로 인식할 수 있으므로, 세포 조작에 드는 시간 및 비용을 경감시키며, 보다 정확한 세포 조작이 가능하다.
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KIST Patent > 2004
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