MEMS 구조물을 이용한 탄소나노튜브 가스센서 및 그제작방법

Title
MEMS 구조물을 이용한 탄소나노튜브 가스센서 및 그제작방법
Authors
문승일오동환이곤재이덕중이윤희이종홍장윤택주병권
Issue Date
2003-10-02
Publisher
한국과학기술연구원; 주식회사 한국전자홀딩스
Abstract
본 발명은 마이크로머시닝(microelectromechanical system, MEMS) 기술로 제작된 구조물 위에 탄소나노튜브를 직접 성장시켜 탄소나노튜브를 가스센서의 감응물질로 적용한 탄소나노튜브 가스센서 및 그 제작방법에 관한 것이다. 본 발명에 따라 제작된 탄소나노튜브 가스센서는 고민감도이며, 상온 동작이 가능하며, 크기를 소형화 및 집적화시키고 전력소모를 줄일 수 있다. 또한 감응 가스의 종류가 다양하여 가스센서 어레이로의 개발 가능성이 크다.
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KIST Patent > 2003
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