펄스 플라즈마 특성 변수 측정용 진단 시스템 및 방법

Title
펄스 플라즈마 특성 변수 측정용 진단 시스템 및 방법
Authors
김영우이연희한승희
Issue Date
2003-09-16
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 진공조 내의 플라즈마 특성 변수를 얻기 위하여 필요한 전류(I)-전압(V) 곡선을 측정하기 위해 사용하는 장치로서 더욱 상세하게는 시간에 따라서 변하는 펄스 플라즈마에서 진공조 내의 시간에 따른 플라즈마의 변수들을 얻을 수 있도록 랩뷰(LabVIEW)를 사용해서 구성한 장치와 측정방법이 그 요지이다. 본 발명에서는 기존의 연속적인 플라즈마에서 전류-전압 곡선을 얻기 위하여 사용되었던 톱니파 또는 사인파의 전압 대신에 발생되는 펄스 플라즈마와 동기화(synchronization) 시킨 직류 전압을 랑뮤어 프로브(Langmuir probe)에 순차적으로 인가한 후 전류를 측정함으로써 각각의 시간에 따른 전류-전압 곡선을 얻을 수 있게 된다.
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KIST Patent > 2003
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