전 고상 박막전지용 양극 박막, 그 제조방법 및 이를이용한 리튬 박막전지

Title
전 고상 박막전지용 양극 박막, 그 제조방법 및 이를이용한 리튬 박막전지
Authors
김현중김형선박호영오시형이영재조병원조원일
Issue Date
2003-06-25
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 기판에 음의 바이어스 전압을 인가하면서 상온에서 상기 기판 상에 양극 활물질을 증착시켜, 열처리 공정을 거치지 않고 결정화된 양극 박막을 형성시키는 것을 특징으로 하는, 전기 화학적 특성이 우수한 전 고상 박막전지용 양극 박막의 제조방법, 이러한 방법으로 제조된 양극 박막 및 이를 이용한 전 고상 리튬 박막전지에 관한 것이다.
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KIST Patent > 2003
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