Mn계 반강자성 합금을 이용한 거대자기저항 스핀밸브 박막

Title
Mn계 반강자성 합금을 이용한 거대자기저항 스핀밸브 박막
Authors
김광윤최원준한석희
Issue Date
2003-06-03
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 거대자기저항 스핀밸브 박막에 관한 것으로, 특히 반강자성층/강자성층의 이중층을 형성하여 반강자성층과 강자성층의 계면에서 교환자기이방성에 의한 교환자계 바이어스는 형성하지 않고 강자성층의 보자력만이 증가된 거대자기저항 스핀밸브 박막에 관한 것이다. 본 발명에 따른 거대자기저항 스핀밸브 박막은, 기판 상에 순차적으로 증착되는 반강자성층, 제1강자성층, 비자성층, 제2강자성층, 및 보호층을 포함하는 스핀밸브 자성 박막으로서, 상기 반강자성층은 무질서한 결정립 구조를 가지며, (111)면의 우선 방위가 억제되는 3-100Å 두께의 Mn계 반강자성 합금으로 구성함으로써, 상기 제1강자성체의 보자력이 증가되는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따른 반강자성층/강자성층/비자성층/강자성층/ 구조로 이루어진 거대자기저항 스핀밸브 박막에서, 비자성층을 사이에 둔 반강자성층/강자성층과 강자성층의 보자력 차이는 기존의 강자성층/비자성층/강자성층 구조에서의 두 강자성층의 보자력 차이보다 훨씬 큰 보자력 차이를 나타나므로 자기저항 소자에 적용시 안정성 측면에서 매우 우수하다.
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KIST Patent > 2003
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