반도체 웨이퍼 접합을 위한 시료 고정장치

Title
반도체 웨이퍼 접합을 위한 시료 고정장치
Authors
변영태김재헌이석김선호
Issue Date
2003-03-21
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 반도체 웨이퍼 접합을 위한 시료 고정장치에 관한 것으로서, 더 상세하게는 동종 및 이종 반도체 웨이퍼를 접합할 때 접합면에서 양질의 균일성을 얻기 위해 임의 두께의 웨이퍼와 임의 크기의 시료에 임의 크기 압력을 직접 가할 수 있는 시료 고정장치에 관한 것이다. 본 발명의 시료 고정장치는, 접합될 웨이퍼 시료가 장착되는 장착부와 상기 시료를 조임으로써 결합되도록 볼트 구멍이 형성된 홀더와, 상기 홀더의 하부에 놓여지고 상기 시료를 조임으로써 결합되도록 볼트 구멍이 형성된 하판과, 상기 시료의 상부에 위치되고 홀더의 위로 일부가 돌출되는 가압 부재와, 상기 가압 부재의 돌출되는 부위와 접촉되고 상기 시료를 조임으로써 결합되도록 볼트 구멍이 형성된 상판과, 상기 홀더와 하판과 상판에 형성된 볼트 구멍을 통해 삽입되어 상기 각 구성부를 조임으로써 결합되는 다수개의 결합 볼트로 구성된다.
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KIST Patent > 2003
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