젯트루프식 분사형 반응기를 이용한 삼불화질소 제조방법

Title
젯트루프식 분사형 반응기를 이용한 삼불화질소 제조방법
Authors
권영수김홍곤안병성이상득이재우임형식홍종엽
Issue Date
2002-07-19
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 불화암모늄 용융염에 기상의 불소를 직접 접촉시켜 삼불화질소(NF3)를 제조하는 방법에 관한 것으로, 반응열이 국부적으로 과다하게 생성되어 축적되는 현상을 방지하고, 반응온도 조절이 용이하면서도 보다 낮은 반응온도에서 더 높은 수율로 삼불화질소를 제조하는 방법을 제공하는 것이 목적이다. 불화암모늄 용융염을 반응기 하부에서 상부로 순환시키면서 노즐을 통해 반응기 내로 빠르게 분사시킴으로써 불화암모늄 용융염의 미세 액적을 형성시키고, 불화암모늄 용융염의 분사에 의해 노즐 주변에 형성되는 음압에 의해 불소흡입관을 통하여 반응기 내로 흡입되는 불소가스와 불화암모늄 용융염의 미세 액적을 접촉시키는 방법에 의하여 삼불화질소를 제조한다. 본 발명에 의하면 비반응성 희석가스를 사용하거나 가스순환기를 사용하지 않고도 반응열이 과다하게 발생하는 것과 반응열이 국부적으로 축적되는 것을 방지할 수 있어 반응온도를 기존의 방법보다 10∼30oC 이상 낮출 수 있고, 반응온도가 낮아짐에 따라 부반응이 거의 일어나지 않으므로 반응의 선택도가 높다. 삼불화질소, 불소, 불화암모늄, 직접 불소화법, DF 법, 제트 루프식 분사형 반응기
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KIST Patent > 2002
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