액체금속 공급로가 형성된 코일형 액체금속 이온원의 제조방법

Title
액체금속 공급로가 형성된 코일형 액체금속 이온원의 제조방법
Authors
강승언김은규김태환박용주오현주추동철현정우
Issue Date
2002-04-16
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 코일형 액체금속 저장소와 액체금속 공급로가 형성된 에미터를 제공하는 것을 특징으로 하는 최적화된 코일형 액체금속 이온원의 제조 방법을 제공한다. 본 발명의 방법은 액체금속 공급로가 형성된 코일형 액체금속 이온원은 에미터를 식각하여 액체금속 공급로가 형성된 에미터 제조 단계, 코일형 액체금속 저장소 제작 단계 및 액체금속 적재 단계의 최적화된 3단계 공정을 포함한다. 본 발명에 따라 결정 방향성을 갖는 텅스텐 선에 전기화학적 교류식각법에 의해 에미터를 제작할 때 표면에 형성되는 액체금속 공급로는 액체금속의 양을 조절하는 기능을 하며 이로 인해 이온빔의 안정성을 한 단계 높일 수 있고, 코일형 액체금속 저장소는 에미터와 저장소의 표면 불순물을 동시에 제거할 수 있도록 하며 제작공정을 가장 최적화시킬 수 있는 특징을 갖게 한다.액체금속 공급로, 코일형 액체금속 이온원, 전기화학적 식각, 에미터
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KIST Patent > 2002
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