대변위 작동형 구동기

Title
대변위 작동형 구동기
Authors
강호관문성욱채경수
Issue Date
2001-10-26
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 대변위 작동형 구동기에 관한 것이다. 보다 상세하게는 구동기의 양 전극간 간격을 최소한의 선폭을 갖도록 줄임으로서 서브 마이크로 간격이 형성된 영역에서 변위를 최대한으로 증대시킬 수 있는 기술에 관한 것이다. 본 발명은 대변위 작동형 구동기에 있어서, 고정된 상태에서 자세를 유지하여 변위를 발생시키는 고정전극(100)과; 가동전극 구동빔(210)이 선단에 돌출되어 형성되며, 구동기가 구동될 때 상기 고정전극(100) 방향으로 근접하여 변위를 발생시키는 지지빔(200)을 구비하며; 상기 고정전극(100)과 가동전극 구동빔(210)이 결합될 때, 상기 가동전극 구동빔(210)의 지지빔(200)이 결합된 부위의 전극간 초기에는 공정 가능한 최소 선폭 만큼의 전극 간격(300)을 유지하여 최소한의 구동력을 얻으며, 동작시에는 고정전극(100)과 가동전극 구동빔(210) 간의 간격이 적어도 1㎛ 이하의 서브마이크로 간격(400)을 갖도록 유지하여 대변위의 구동력을 발생시키는 것을 특징으로 하는 대변위 작동형 구동기가 제시된다. 따라서, 본 발명은 대변위 작동형 구동기를 구현함으로서 전기도금 공정을 이용하여 고 형상비를 갖는 구조물을 제작할 경우 광스위치, 광 셔터(shutter), x-y 스테이지 등에 적용할 수 있다.
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Appears in Collections:
KIST Patent > 2001
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