구리 전기 도금 용액

Title
구리 전기 도금 용액
Authors
박영준윤민승이유용조병원윤희성
Issue Date
2001-11-15
Publisher
한국과학기술연구원; 윤희성
Abstract
본 발명은 억제제, 광택제 및 신규한 레벨러를 포함하는 개량된 구리 전기 도금 용액 조성물에 관한 것이다. 본 발명의 도금 용액은 특히 반도체 다마신(Damascene) 구리 배선 충진에 사용되는 것으로서, 배선 폭이 미세하고 고종횡비를 갖는 트렌치를 결함없이 충진하여 신뢰성이 향상된 구리 배선을 얻는 데에 유용하다. 본 발명에 의한 전기 도금 용액은 억제제로서 폴리에틸렌글리콜을, 광택제로 머캅토(mercapto) 화합물 및 다른 황 화합물을, 레벨러로서 자누스 그린 B(Janus Green B) 또는 코마린(coumarin)을 함유하는 것을 특징으로 한다. 구리 전기도금, 도금용액, 구리 배선, 첨가제
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Appears in Collections:
KIST Patent > 2001
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