열적 특성이 향상된 탑형 및 바톰형 스핀밸브 자기저항박막 및 그 제조방법

Title
열적 특성이 향상된 탑형 및 바톰형 스핀밸브 자기저항박막 및 그 제조방법
Authors
김광윤김희중장성호
Issue Date
2001-10-10
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 열적 특성이 향상된 스핀밸브 자기저항 박막 제조에 관한 것으로, 스핀밸브 자기저항 박막 구조 내에 적절한 산화층을 도입시켜 각 층에서 발생하는 원소의 확산을 차단하여 다른 층으로 이동하는 것을 막아줌으로써 열적 특성이 향상되고, 증착 후 열처리를 통하여 균일한 산화층을 형성시킴으로써 자기저항비가 증가된 스핀 밸브 자기저항 박막 및 이의 제조방법에 관한 것이다.산화층, 스핀 밸브, 열적특성, 자기저항비
URI
Go to Link
Appears in Collections:
KIST Patent > 2001
Files in This Item:
There are no files associated with this item.
Export
RIS (EndNote)
XLS (Excel)
XML


qrcode

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.

BROWSE