금속 나노선의 제조방법

Title
금속 나노선의 제조방법
Authors
이윤희장윤택주병권최창훈
Issue Date
2001-10-15
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명의 금속 나노선의 제조방법은 나노리소나 조작기술을 전혀 사용하지 않고 공정중에 바로 기판상에 텅스텐 나노선을 성장시키는 방법으로, 공정중에 바로 원하는 기판의 원하는 위치에 선택적으로 텅스텐 나노선을 성장시켜서 집접화할 수 있도록 함으로써, 종래의 기술에서 벌크 텅스텐 조각이나 수mm 두께의 텅스텐선을 식각용액에서 담그어 전체나 끝을 가공하거나 혹은 반도체 미세사진식각 및 리소공정을 사용하여 마이크로 팁을 구현하던 방식과는 달리 나노크기의 직경을 갖는 나노선을 대량으로 기판상에 성장시킬 수 있어서, 금속 나노선을 이용한 나노전자/스핀소자류, 나노기계류, 탐침류, 전자방출 표시장치, 나노생체구동기 등을 위한 작동 핵심체 및 결선기술 등에 양산기술에 유용하게 이용될 수 있다.
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Appears in Collections:
KIST Patent > 2001
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