ＦｅＴｉＮ계 연자성 박막합금 조성물

Abstract

본 발명은 일반식 FexTiyNz으로 표시되며, x, y, z는 각각 at%로서, 85≤x≤ 95, 1≤y ≤4, 1≤z≤11 (단 x+y+z=100)인 것을 특징으로 하고, 또한 상기 FeTiN계 합금조성물에 Cr을 전체조성물에 대하여 5 at% 이하로 더 첨가하는 FeTiN계 연자성 박막합금 조성물에 관한 것이다.본 발명에 의한 연자성 박막합금 조성물은 고주파 자기특성 및 부식특성이 매우 우수하여 컴퓨터 HDD의 기록용 자기헤드 코어재료를 비롯한 헤드코어 재료 및 박막 인덕터 등 각종 고주파 박막자기소자의 코어재료로 널리 사용될 수 있다.