ECR을 이용한 도전성 고분자수지의 제조방법

Title
ECR을 이용한 도전성 고분자수지의 제조방법
Authors
박달근우주만이중기전법주조병원
Issue Date
2001-02-08
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 ECR(Electron Cyclotron Resonance)를 이용하여 도입된 반응성 가스 혹은 비활성가스로 고밀도, 고에너지의 플라즈마이온을 형성하여 0.05∼50kV정도의 음(-) 고 직류전압 또는 고주파 펄스전압을 인가하여 이온을 진공조 내의 시료표면으로 물리·화학증착시켜 단일 금속 및 복합 금속막을 형성하여, 결과적으로 대상 고분자수지의 표면특성을 100∼108Ω·cm 범위의 전자도전성으로 변화시켜 ESD방지 및 전자기파차폐용 고분자 수지 제품특성에 맞게 표면개질 하는 방법에 관한 것이다.
URI
Go to Link
Appears in Collections:
KIST Patent > 2001
Files in This Item:
There are no files associated with this item.
Export
RIS (EndNote)
XLS (Excel)
XML


qrcode

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.

BROWSE