화학증착용 유기티탄 전구체 및 그의 제조 방법

Title
화학증착용 유기티탄 전구체 및 그의 제조 방법
Authors
우경자
Issue Date
2002-01-16
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 베타케토에스테르와 티타늄 글리콜레이트와의 유기티탄 전구체, 이들과 알코올의 가교결합으로 이루어진 이핵성(binuclear) 전구체 및 그의 합성 방법에 관한 것이다. 보다 구체적으로 설명하면, 본 발명은 유기금속화학증착법(MOCVD = metal-organic chemical vapor deposition)용의 이산화티탄 원료로서 이용이 기대되는 신규 유기티탄 전구체 및 그의 합성 방법에 관한 것이다.본 발명에 의하면, 대기중 안정하고 취급이 용이하며, 열안정성과 기화 안정성이 양호하고, 분해반응이 간단하여 낮은 온도에서도 증착속도가 우수한 신규 유기티탄 전구체를 간편한 방법으로 합성할 수 있기 때문에 경제적인 원료를 제공할 수 있다.화학증착, 유기티탄 전구체, 베타케토에스테르, 티타늄 글리콜레이트
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Appears in Collections:
KIST Patent > 2002
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