양자점을 이용한 반도체 광 증폭기의 이득 대역폭 확장 방법

Title
양자점을 이용한 반도체 광 증폭기의 이득 대역폭 확장 방법
Authors
강광남김대식김선호김재헌김회종변영태양지상우덕하이석최원준한일기
Issue Date
2000-02-07
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 스스로 뭉쳐서 형성된 양자점에서 나오는 광의 스펙트럼이 매우 넓은 것을 이용하여 반도체 광 증폭기의 이득 대역폭을 확장하는 방법에 관한 것이다.더 상세하게는 InGaAs/InGaAsP/InP 양자우물 반도체 광증폭기의 이득 대역폭 확장방법에 있어서, 소정 두께의 InP 버퍼층을 성장시키는 과정과, 상기 InP 버퍼층 성장후 소정 가스를 공급하는 제1 가스 공급 과정과, 상기 InP 버퍼층 위로 InAs 단일 우물 구조층을 성장시키는 과정과, 상기 InAs 층 성장 후 소정 가스를 공급하여 격자 상수가 맞지 않는 상기 InAs 층이 서로 뭉쳐서 양자점을 형성하도록 하는 제2 가스 공급 과정과, 상기 InAs 층 위로 소정 두께의 InP 캡층을 성장시키는 과정으로 양자점을 생성하여 반도체 광 증폭기의 이득영역으로 양자점을 도입하고, 상기 InAs가 서로 뭉치면서 각 점들의 크기와 높이가 불균일하게 서로 독립적인 점을 형성하게 함을 특징으로 한다.반도체광증폭기, 대역폭확장
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KIST Patent > 2000
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