SmCo계 경자성 박막의 제조방법

Title
SmCo계 경자성 박막의 제조방법
Authors
김상원양충진
Issue Date
1999-10-14
Publisher
한국과학기술연구원; 재단법인 포항산업과학연구원
Abstract
본 발명은 SmCo계 경자성 박막의 제조방법에 관한 것이며, 그 목적하는 바는 반응실 내부에 장착된 타겟에 레이저광(excimer laser beam)을 조사하여 박막을 제조하는 레이저어블레이션법을 적용함으로써 공정변수를 적절히 변화시켜 양호한 자기특성을 나타내는 SmCo계 박막을, 박막의 대량생산시 저가로 가장 일반적으로 사용할 수 있는 Si단결정 기판위에 형성시키고자 하는데 있다.상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은 조성이 Sm100-XCoX(at.%)인 SmCo계 타겟을 진공상태의 반응실내에 장착하고, 단결정 Si기판을 가열하는 단계; 상기 SmCo계 타겟 및 Si기판을 회전시킨 후, 광학적으로 발진 시간을 늘여 펄스폭(pulse width)을 100-250μs로 한 고정 Q모드(Fixed Q mode)의 Nd-YAG 레이저광을 상기 타겟에 조사하여 상기 기판상에 SmCo계 박막을 증착하는 단계; 박막이 증착된 Si기판을 분당 3∼5 oC의 냉각속도로 냉각하는 단계를 포함하여 구성되는 SmCo계 경자성 박막의 제조방법에 관한 것을 그 요지로 한다.레이저어블레이션법, SmCo, 경자성, 보자력, 각형비
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