철붕소화합물/니오디뮴철붕소/철붕소화합물 박막구조의 초미세립 영구자석박막의 제조방법

Title
철붕소화합물/니오디뮴철붕소/철붕소화합물 박막구조의 초미세립 영구자석박막의 제조방법
Authors
김상원양충진
Issue Date
1998-12-24
Publisher
한국과학기술연구원; 재단법인 포항산업과학연구원
Abstract
본 발명은 레이저어블레이션(laser ablation)법으로 Fe3B를 연자성층으로 사용한 Fe3B/NdFeB/Fe3B 구조의 초미세립 영구자석박막의 제조방법에 관한 것으로,레이저어블레이션법을 이용하여 3층박막을 제조하는 방법에 있어서, 경자성층의 증착을 위하여 조성이 원자퍼센트(at.%)로 NdXFe90.98-XB9.02 (25≤X≤32)인 NdFeB계 타겟과 연자성층의 증착을 위하여 Fe3B 타겟이 장착된 진공상태의 반응실내에서 단결정 (100)Si 기판온도를 620 oC 이상의 온도로 가열하는 단계와; NdFeB계 타겟 Fe3B 타겟 및 (100)Si 기판을 회전시킨 후 KrF 레이저 빔을 3.08 J/cm2의 에너지밀도 범위로 상기의 2 가지 타겟에 교대로 조사하여 상기 기판상에 연자성을 나타내는 제1층으로 Si기판상에 두께 9∼50 나노미터의 Fe3B 박막을 증착하고, 그 위에 제2층으로 두께 5∼30 나노미터의 경자성 NdFeB계 박막을 증착한 후 그 위에 다시 제1층과 동일한 두께로 제어된 9∼50 나노미터의 연자성 Fe3B 박막을 증착하여 3층막을 형성시키는 단계와; 3층막 증착된 (100)Si 기판을 분당 3∼5℃의 냉각속도로 냉각하는 단계를 이루어져서 된 것이다.
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